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J-GLOBAL ID：200903063598808594

反射型結像光学系

Inventor： 藤本 誠
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 長尾 達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002154667
Publication number (International publication number)：2003344772
Application date： May. 28, 2002
Publication date： Dec. 03, 2003
Summary：

【要約】【課題】明るいFNOと短光路長の両立が可能となる反射型結像光学系を提供する。【解決手段】結像面側より順に、結像面に凹面を向けた回転対称面形状を有する第1の反射鏡、該第1の反射鏡からの光束に凸面を向けた回転対称非球面形状を有する第2の反射鏡、第2の反射鏡からの光束に同じく凸面を向けた回転対称非球面形状を有する第3の反射鏡の、3枚の反射鏡からなる結像系を有する反射型結像光学系において、前記反射型結像光学系の全系のパワーをφ、第1、第2、第3の反射鏡のパワーをそれぞれφ1、φ2、φ3、ペッツバール和をPとするとき、条件式0.01<φ1/φ<0.1...(1)φ3/φ<φ2/φ<0...(2)0.1<|P/φ|<0.5...(3)を満たす構成とする。

Claim (excerpt)：

結像面側より順に、結像面に凹面を向けた回転対称面形状を有する第1の反射鏡、該第1の反射鏡からの光束に凸面を向けた回転対称非球面形状を有する第2の反射鏡、第2の反射鏡からの光束に同じく凸面を向けた回転対称非球面形状を有する第3の反射鏡を備え、これら3枚の反射鏡で構成される結像系を有する反射型結像光学系において、前記反射型結像光学系の全系のパワーをφ、第1、第2、第3の反射鏡のパワーをそれぞれφ1、φ2、φ3、ペッツバール和をPとするとき、つぎの条件式0.01<φ1/φ<0.1φ3/φ<φ2/φ<00.1<|P/φ|<0.5を満たすことを特徴とする反射型結像光学系。

IPC (5)：

G02B 17/00 ,  G02F 1/13 505 ,  G02F 1/1335 520 ,  G03B 21/00 ,  G03B 21/28

FI (6)：

G02B 17/00 A ,  G02F 1/13 505 ,  G02F 1/1335 520 ,  G03B 21/00 E ,  G03B 21/00 G ,  G03B 21/28

F-Term (35)：

2H087KA01 ,  2H087KA06 ,  2H087KA07 ,  2H087KA15 ,  2H087SA00 ,  2H087SB00 ,  2H087TA01 ,  2H087TA02 ,  2H087TA06 ,  2H087TA08 ,  2H088EA12 ,  2H088EA18 ,  2H088EA19 ,  2H088EA20 ,  2H088HA21 ,  2H088HA28 ,  2H088MA02 ,  2H088MA06 ,  2H088MA16 ,  2H091FA17 ,  2H091FD07 ,  2H091FD12 ,  2H091FD22 ,  2H091LA03 ,  2H091LA11 ,  2H091LA13 ,  2H091LA16 ,  2K103AA05 ,  2K103AA06 ,  2K103AA14 ,  2K103AA17 ,  2K103AB04 ,  2K103AB07 ,  2K103BC05 ,  2K103CA12