光学式走査装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：杉村暁秀 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993337632
Publication number (International publication number)：1994302011
Application date： Dec. 28, 1993
Publication date： Oct. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】モニタ検出器の較正を不要にでき、簡単な構成で安価に製造できる光学式走査装置を提供する。【構成】本発明による光学式走査装置は、放射源(5)と、2個の格子構造体を有する回折格子(17)が形成されている透明プレート(18)と、放射を面(3)上に集束させる対物レンズ系(7)と、面で反射した放射を電気信号に変換する検出系(12)とを具える。回折格子(17)の第1の格子構造体は、例えば放射ビーム(6)から2本のサイドビーム(21,22)を形成する。第2の格子構造体を設けることにより、放射ビーム(6)からモニタビーム(13)が反射ビームとして得られる。モニタビームはモニタ検出器(14)に入射し、放射源(5)の放射パワーを制御する電気信号が発生する。

Claim (excerpt)：

面を光学的に走査する装置であって、放射源-検出ユニットと、この放射源-検出ユニットから発生した放射を面上に集束させる集束手段とを具え、前記放射源-検出ユニットが放射ビームを発生する放射源と、前記放射源により発生した放射ビームから又は前記面で反射したビームから少なくとも1個の偏向したサブビームを形成する第1の格子構造体を有する回折格子と、前記面で反射した放射を電気信号に変換する放射感知検出系と、前記放射源によって発生したビームからモニタビームを形成する手段と、このモニタビームを前記放射源を制御する電気信号に変換するモニタ検出器とを有する光学式走査装置において、前記モニタビーム形成手段を前記回折格子に設けた第2の格子構造体で構成し、前記モニタビームを前記回折格子で反射した放射によって形式したことを特徴とする光学式走査装置。

IPC (2)：

G11B 7/135 , G02B 5/18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (12)

特開平2-265036
特開平3-029901
特開平4-372728

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