基板洗浄装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：板谷康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997129240
Publication number (International publication number)：1998321571
Application date： May. 20, 1997
Publication date： Dec. 04, 1998
Summary：

【要約】【課題】基板の両面を同時洗浄することが可能な基板洗浄装置において、基板のチャッキング部周辺に付着した異物を確実に取り除いて、高スループット、高歩留まりにて洗浄を行うことができるようにし、また、装置の小型化を図る。【解決手段】基板Wが略垂直な姿勢とされた状態でブラシスクラブ槽まで搬送され、ブラシスクラブ槽では、基板保持装置8の基板Wとの当接部分が同等の厚さとされたチャッキング部8b,8cによって基板Wが略垂直な姿勢のままで保持され、回転ブラシ12a,12bと当接する位置まで移動される。回転ブラシ12a,12bは、基板Wの表裏両面の全面に同時に接してスクラビング洗浄を行う。これにより、基板W表面のエッジ部周辺に付着する異物まで確実に取り除くことができる。

Claim (excerpt)：

半導体やガラス等からなる基板を保持する基板保持手段と、この基板保持手段に保持された基板の表面をスクラビング洗浄するブラシスクラブ手段を有する基板洗浄装置において、前記基板保持手段は、前記基板と同等の厚さとされたチャッキング部を有し、このチャッキング部が前記基板のエッジ部分に当接することでもって前記基板を略垂直な姿勢で保持し、前記ブラシスクラブ手段は、前記チャッキング部によって保持された基板の表裏両面を同時にスクラビング洗浄するように構成されていることを特徴とする基板洗浄装置。

IPC (2)：

H01L 21/304 341 , B08B 1/04

FI (2)：

H01L 21/304 341 B , B08B 1/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

基板洗浄装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-065716 Applicant：株式会社ニコン
スクラビング用円筒ブラシ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-321425 Applicant：エム・セテック株式会社
基板洗浄装置及び基板洗浄方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-288045 Applicant：株式会社ニコン

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