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J-GLOBAL ID：200903063676484539

感光性組成物

Inventor： 上西 一也 ,  梅原 明 ,  青谷 能昌 ,  山岡 亜夫
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 中村 稔 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991159093
Publication number (International publication number)：1993005993
Application date： Jun. 28, 1991
Publication date： Jan. 14, 1993
Summary：

【要約】【構成】 酸を触媒とする反応によりアルカリ水溶液に対する親和性あるいは溶解性が増加する性質を有する化合物とオニウム化合物の芳香族スルホン酸塩を含む事を特徴とする化学増幅系感光性組成物。【効果】 感度、解像力及び残膜率が高い。

Claim (excerpt)：

酸を触媒とする反応によりアルカリ水溶液に対する親和性あるいは溶解性が増加する性質を有する化合物とオニウム化合物の芳香族スルホン酸塩を含む事を特徴とする化学増幅系感光性組成物。

IPC (4)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平2-296801
  
• 特開昭59-045439
  
• 特開平3-152544
  
• 特開平3-167249