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J-GLOBAL ID：200903063683537990

超純水の製造法

Inventor： 青柳 充建 ,  宮丸 人志
Applicant, Patent owner： 日本錬水株式会社
Agent (1)： 長谷川 一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991301993
Publication number (International publication number)：1993138162
Application date： Nov. 18, 1991
Publication date： Jun. 01, 1993
Summary：

【要約】【目的】 全有機体炭素含有量が極めて少ない超純水を製造する。【構成】 全有機体炭素含有量10ppm以下の純水に短波長紫外線を照射したのち、陽イオン交換樹脂と陰イオン交換樹脂との混合床にSV100以上で通過させる。【効果】 イオン交換樹脂からの溶出物の影響を最少限に抑えることができる。

Claim (excerpt)：

全有機体炭素含有量10ppb以下の純水に短波長紫外線を照射したのち、該純水を陽イオン交換樹脂と陰イオン交換樹脂の混合床に空間速度100以上で通過させることを特徴とする超純水の製造法。

IPC (6)：

C02F 1/42 ,  B01D 61/14 500 ,  B01J 47/04 ,  C02F 1/32 ,  C02F 1/44 ,  C02F 9/00