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J-GLOBAL ID：200903063701028934
ペリクル
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992085827
Publication number (International publication number)：1993289314
Application date： Apr. 08, 1992
Publication date： Nov. 05, 1993
Summary：
【要約】【目的】 本発明は露光用マスクの保護に用いるペリクルの改良に関し, 両面テープの発泡体からの塵埃によるマスク汚染が防止され又, マスクパターンの一部が両面テープによって隠蔽されるようなことのないぺリクルを提供することを目的とする。【構成】 ぺリクルのフレーム表面に両面テープ等接着用部材を埋め込むための溝を設けたフレームを有するように構成する。
Claim (excerpt)：
マスクの表面を保護するペリクルにおいて,ペリクルのフレームの,該マスクに貼付される面に設けられた溝と,該溝に埋め込まれた粘着用部材とを有することを特徴とするペリクル。
IPC (2)：
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