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J-GLOBAL ID：200903063707102460
レーザ加工装置及びレーザ加工方法
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鷲田 公一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006061912
Publication number (International publication number)：2007237221
Application date： Mar. 07, 2006
Publication date： Sep. 20, 2007
Summary：
【課題】サファイアやダイアモンドなどの硬質結晶性難加工材料の内部に、完全に閉じた構造であり、かつ輪郭が明確な中空領域を簡単な工程で形成すること。【解決手段】レーザ光源110は、加工用のフェムト秒パルスレーザを発生する。可変NDフィルタ120は、フェムト秒パルスレーザのパルスエネルギを制御する。電磁フィルタ130は、フェムト秒パルスレーザから単一パルスを切出す。油浸対物レンズ210は、単一パルスレーザを集光して加工対象材料Sの内部の集光位置に焦点像を形成する。フェムト秒パルスレーザのパルス幅、単一パルスレーザのパルスエネルギ、及び単一パルスレーザを集光する油浸対物レンズ210の開口数NAをそれぞれ最適な値に調整することにより、単一パルスレーザを集光照射するという1工程のみで、加工対象材料Sの内部に略真球状の微細で形状が整った中空領域を、完全に閉じた構造で形成することができる。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
フェムト秒パルスレーザを発生するパルスレーザ発生手段と、
前記フェムト秒パルスレーザを加工対象材料の内部に集光照射する光学系と、を有し、
前記フェムト秒パルスレーザの集光照射位置に中空領域を形成する、
ことを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (5)：
B23K 26/36
, B23K 26/40
, B23K 26/00
, B23K 26/03
, H01S 3/00
B23K26/36
, B23K26/40
, B23K26/00 N
, B23K26/03
, H01S3/00 B
4E068AF00
, 4E068CA01
, 4E068CA02
, 4E068CA03
, 4E068CA17
, 4E068DB06
, 5F172ZZ01
Cited by applicant (1)
-
レーザ加工方法および装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2004-108301
Applicant：株式会社レーザーシステム
Cited by examiner (1)
-
透明材料内部の処理方法およびその装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2002-150541
Applicant：理化学研究所, HOYAフォトニクス株式会社
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