Pat

J-GLOBAL ID：200903063722509193

感光性樹脂組成物及びこれを用いたドライフィル ムレジスト

Inventor： 喜多 伸元 ,  佐藤 弘章
Applicant, Patent owner： 日本合成化学工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996287457
Publication number (International publication number)：1998110008
Application date： Oct. 08, 1996
Publication date： Apr. 28, 1998
Summary：

【要約】【課題】 感度及び解像力、更に細線密着力に非常に優れたドライフィルムレジストに用いられる感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 (a)カルボキシル基含有ポリマー、(b)エチレン性不飽和化合物、(c)光重合開始剤からなる感光性樹脂組成物において、(c)光重合開始剤として、(a)と(b)の総重量に対して(c-1)N-アリール-α-アミノ酸系化合物を0.01〜1.0重量%、(c-2)N,N′-テトラアルキル-4,4′-ジアミノベンゾフェノン系化合物を0.01〜0.5重量%、(c-3)ロフィン二量体を0.5〜6.0重量%、(c-4)特定式で示される化合物を0.1〜10重量%含有する感光性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(a)カルボキシル基含有ポリマー、(b)エチレン性不飽和化合物、(c)光重合開始剤からなる感光性樹脂組成物において、(c)光重合開始剤として、(a)と(b)の総重量に対して(c-1)N-アリール-α-アミノ酸系化合物を0.01〜1.0重量%、(c-2)N,N′-テトラアルキル-4,4′-ジアミノベンゾフェノン系化合物を0.01〜0.5重量%、(c-3)ロフィン二量体を0.5〜6.0重量%、(c-4)下記化1で示される化合物を0.1〜10重量%含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】ここで、R1、R2は水素又はアルキル基で、それらは同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。

IPC (6)：

C08F 2/50 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/031 ,  H05K 3/06 ,  C08L 33/06 ,  C09D 4/06

FI (7)：

C08F 2/50 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/031 ,  H05K 3/06 J ,  H05K 3/06 H ,  C08L 33/06 ,  C09D 4/06