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J-GLOBAL ID：200903063731427817

過酸化水素と界面活性剤とを含む酸性水の処理方法

Inventor： 小畠 嘉修 ,  織田 信博 ,  小泉 求
Applicant, Patent owner： 栗田工業株式会社
Agent (1)： 重野 剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993224311
Publication number (International publication number)：1995080473
Application date： Sep. 09, 1993
Publication date： Mar. 28, 1995
Summary：

【要約】【目的】 半導体リンス排水等のH2 O2 と界面活性剤とを含む酸性水から、H2 O2 及び界面活性剤を効率的に除去する。【構成】 白金触媒と接触させた後活性炭と接触させる。【効果】 白金触媒であればpH3以下のような酸性域であっても、H2 O2 をほぼ完全に分解除去できる。H2 O2 を白金触媒によりほぼ完全に分解除去し、その後の活性炭処理により、界面活性剤を効率的に吸着除去することができる。半導体リンス排水を原水とする超純水製造工程に極めて有効に適用することができる。

Claim (excerpt)：

過酸化水素と界面活性剤とを含む酸性水を、白金触媒と接触させた後活性炭と接触させることを特徴とする過酸化水素と界面活性剤とを含む酸性水の処理方法。

IPC (4)：

C02F 1/58 ZAB ,  B01J 20/20 ,  B01J 23/42 ,  C02F 1/28 ZAB