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J-GLOBAL ID：200903063745084122
ゲートバルブ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
守谷 一雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992125084
Publication number (International publication number)：1993196150
Application date： May. 18, 1992
Publication date： Aug. 06, 1993
Summary：
【要約】【目的】 処理室の開成、閉成動作を円滑に行なうことができ、開閉時にバルブ内でのゴミの発生を防止できるゲートバルブを提供すること。【構成】 油圧シリンダ27に接続されたゲートベース26と処理室の開口部に押圧されるゲートフランジ31とをゲートチャンバ23に収納し、ゲートチャンバ23とゲートベース26とにゲートベース26を駆動方向に案内するガイドレール40及びベアリング機構41とを設ける。油圧シリンダ27によりゲートベース26及びゲートフランジ31を駆動するとき、ゲートベース26はガイドレール40に沿って、スムーズに移動することができる。
Claim (excerpt)：
駆動機構に接続される基台と、この基台に連結され処理室の開口部に押圧されて前記処理室を閉成する蓋体と、前記基台と前記蓋体とを収容する容器と、前記容器の内壁に沿って設けられ、前記基台を前記駆動機構の駆動方向に進退自由に案内するガイド機構と、前記蓋体を前記基台に引寄せる引寄せ手段とを備えたことを特徴とするゲートバルブ。
IPC (4)：
F16K 1/24
, F16K 3/18
, H01L 21/302
, H01L 21/68
