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J-GLOBAL ID：200903063749909355

ワーク検査装置および検査方法

Inventor： 安富 文夫 ,  片岡 久典 ,  梶浦 徹 ,  野尻 豊
Applicant, Patent owner： 三洋電機株式会社
Agent (1)： 香山 秀幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994047148
Publication number (International publication number)：1995260697
Application date： Mar. 17, 1994
Publication date： Oct. 13, 1995
Summary：

【要約】【目的】 この発明は、高精度の位置決めおよび角度補正を行う必要がなく、半導体ペレット等のワークの検査を高速に行えるワーク検査装置および検査方法を提供することを目的とする。【構成】 ワーク検査方法において、受光軸の周囲の複数点から光をワークに照射し、その反射光を受光することによって第1ワーク画像を生成し、受光軸に平行に光をワークに照射し、その反射光を受光することによって第2ワーク画像を生成し、第1ワーク画像および第2ワーク画像に基づいて、ワークの欠陥部を抽出する。

Claim (excerpt)：

受光軸の周囲の複数点から光をワークに照射し、その反射光を受光することによって第1ワーク画像を生成し、受光軸に平行に光をワークに照射し、その反射光を受光することによって第2ワーク画像を生成し、第1ワーク画像および第2ワーク画像に基づいて、ワークの欠陥部を抽出するワーク検査方法。

IPC (3)：

G01N 21/88 ,  G06T 7/00 ,  H01L 21/66