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J-GLOBAL ID：200903063751707590

位置決め装置

Inventor： 千葉 裕司 ,  丸茂 光司 ,  久野 光俊
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993265718
Publication number (International publication number)：1995106404
Application date： Sep. 29, 1993
Publication date： Apr. 21, 1995
Summary：

【要約】【目的】 プリアライメント装置の待機時間を短縮する。【構成】 プリアライメント装置3のYステージ3dは、減圧チャンバ1内の第1の受渡し位置P1 から第2の受渡し位置P2 までのびる固定ガイド3fに沿って移動し、Yステージ3dに支持されたオリフラ検出装置3iはYステージ3dの移動中にXステージ3b上で回転する保持盤3aに吸着された基板W1 の偏心量とオリフラ面A1 の検出を行い、これに基づいてXステージ3bを移動させるとともに保持盤3aの回転を所定の角度で停止させる。また、Yステージ3dの移動量もオリフラ検出装置3iの出力に基づいて制御される。

Claim (excerpt)：

案内手段に沿って所定の軸方向に往復移動自在である移動台と、これに支持された保持盤と、該保持盤に保持された基板の位置ずれを検出する検出手段と、その出力に基づいて前記移動台を移動させる駆動手段からなり、前記検出手段が前記移動台に支持されていることを特徴とする位置決め装置。

IPC (4)：

H01L 21/68 ,  G03F 9/00 ,  G21K 5/00 ,  H01L 21/027

FI (3)：

H01L 21/30 510 ,  H01L 21/30 520 A ,  H01L 21/30 531 J