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J-GLOBAL ID：200903063763864895

生産管理システム

Inventor： 岩崎 武正 ,  前田 和彦 ,  下社 貞夫 ,  長友 宏人 ,  久保内 講一 ,  松尾 雄紳 ,  中村 佳明
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立北海セミコンダクタ株式会社
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993302536
Publication number (International publication number)：1995006939
Application date： Dec. 02, 1993
Publication date： Jan. 10, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【構成】半導体生産のように清浄度を必要とする微細加工処理工程内の複数の処理設備や搬送ハンドリング設備及びユ-ティリティと計算機とを接続し、接続した計算機により前記各種設備群の稼働管理する情報システムにおいて、生産ラインの管理制御情報を、清浄度別に領域を隔離した現場事務所、作業エリア、保守エリアごとに設備やユーティリティに対して指示や表示をする。【効果】生産ラインの管理制御に必要な情報ハンドリング操作が容易になり、リアルタイム性と応答性能の確保ができるので、生産ラインの変動にたいしても迅速な対応が可能となる。その結果、生産性や品質の向上等が期待できるだけでなく、多製品の生産管理制御にこの情報システムの応用範囲を広げることができる。

Claim (excerpt)：

外部より素材を搬入して清浄度の高い清浄領域内で素材に加工処理を加えて製品を生産する生産ラインにおいて、素材を加工する第1の領域と、素材加工処理設備や空気・某液・純水・廃ガス・廃液等を供給・回収する設備を保全する第2の領域と、設備や素材の加工状況を管理制御する第3の領域と、素材が製品までの生産管理を行なう第4の領域とから構成し、前記第1の領域においては素材加工処理設備に対しての作業指示や表示ができる手段を備え、前記第2の領域においては素材加工処理設備の保守点検指示や表示ができる手段を備え、前記第3の領域においては一連の素材加工処理設備群から成るラインに対しての作業指示や表示ができる手段を備え、前記第4の領域においては素材の投入が製品までの仕掛り状況・出来高あるいは歩留まり等の生産管理や指示や表示ができる手段を備えたことを特徴とする生産管理システム。

IPC (3)：

H01L 21/02 ,  G06F 17/60 ,  B23Q 41/08