セラミックス・グリーンシートおよびセラミックス・グリーンシート上にパターンを形成する方法

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995122444
Publication number (International publication number)：1996034096
Application date： May. 22, 1995
Publication date： Feb. 06, 1996
Summary：

【要約】【構成】セラミックス・グリーンシート基板上に感光性樹脂組成物を光硬化した層を設けたことを特徴とするセラミックス・グリーンシート。【効果】セラミックス・グリーンシート上に感光性ペーストを用いてパターン形成ができるので、L/S=20μm/20μmの微細な導体、抵抗体、誘電体、絶縁体パターンや50μmφのヴィアホール形成が可能となり、かつ低抵抗の導体パターンが得られ、セラミックス多層基板の内層導体の形成が可能になる。これらの結果、セラミックス多層基板の小形化、高密度化を一層可能にするものである。

Claim (excerpt)：

セラミックス・グリーンシート基板上に感光性樹脂組成物を光硬化した層を設けたことを特徴とするセラミックス・グリーンシート。

IPC (8)：

B32B 18/00 , B28B 1/30 101 , B28B 11/04 , C04B 35/622 , G03F 7/027 501 , H05K 1/09 , H05K 3/00 , H05K 3/46

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (13)

特開平1-276129
特開平2-296779
特開平4-283946

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