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J-GLOBAL ID：200903063779728959

表面計測装置

Inventor： 藤井 彰 ,  尾崎 一幸 ,  若菜 伸一
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 伊東 忠彦 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992153772
Publication number (International publication number)：1993340713
Application date： Jun. 12, 1992
Publication date： Dec. 21, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は物体の表面構造を、プローブを走査させて観察、計測する表面計測装置に関し、試料を広範囲に観察し、正確にプローブの位置決めを行うことを目的とする。【構成】 探針18で表面を走査された計測される試料14と、光学顕微鏡15の対物レンズ15aとの間に、対物レンズ15aの焦点距離を長くする挿入板21を介在させる。挿入板21は挿入板微動機構19により対物レンズ15aの光束で内外に移動される。

Claim (excerpt)：

探針(18)を、試料(14)表面に光学観察手段(15)で観察して調整手段(16)により位置決めして位置させ、走査により該試料(14)の表面を計測する表面計測装置において、固定設置された前記光学観察手段(15)の焦点を変動させる移動自在の屈折手段(21)と、該屈折手段(21)を移動させ、該光学系観察手段(15)を該屈折手段(21)の位置に応じてそれぞれ前記探針(18)及び前記試料(14)に合焦させる移動手段(19)と、を含むことを特徴とする表面計測装置。

IPC (3)：

G01B 7/34 ,  G02B 7/28 ,  G02B 21/00