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J-GLOBAL ID：200903063785855849

円弧部有する板状物の自動芯出し装置

Inventor： 高橋 道和 ,  伊藤 泰之 ,  高田 宜佳
Applicant, Patent owner： タツモ株式会社
Agent (1)： 忰熊 弘稔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991361457
Publication number (International publication number)：1994104330
Application date： Dec. 30, 1991
Publication date： Apr. 15, 1994
Summary：

【要約】【目的】 無段階的に種々寸法の異なるウエハなどであっても連続的に芯出しでき、しかもその芯出しを簡易且つ正確に行える装置となす。【構成】 投光手段7と受光手段8からなるビームセンサー9を少なくとも3対設けると共に、これらのセンサーは各投光手段から投射されるビームBが仮想正円錐体Hの母線をなすものとなる所要の配置となし、一方ではウエハwなどを把持するためのチャックCを前記仮想正円錐体の中心軸xの方向へ及びその中心軸と直交した面上の任意位置へ移動させるものとしたアームロボットを設けると共にこのロポットを前記センサーの検出信号に基づいて作動させるための制御装置を設けたものとなす。

Claim (excerpt)：

投光手段と受光手段からなるビームセンサーを少なくとも3対設けると共に、これらのセンサーは各投光手段から投射されるビームが仮想正円錐体の母線をなすものとなる所要の配置となし、一方では板状体を把持するためのチャックを前記仮想正円錐体の中心軸の方向へ及びその中心軸と交叉した面上の任意位置へ移動させるものとなしたアームロボットを設けると共にこのロボットを前記センサーの検出信号に基づいて作動させるための制御装置を設けたことを特徴とする円弧部有する板状物の自動芯出し装置。

IPC (6)：

H01L 21/68 ,  B25J 9/10 ,  B25J 13/08 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/26 ,  G05D 3/12