Pat

J-GLOBAL ID：200903063793765891

画像処理方法

Inventor： 前田 俊二 ,  窪田 仁志 ,  牧平 坦 ,  広井 高志
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992039204
Publication number (International publication number)：1993242253
Application date： Feb. 26, 1992
Publication date： Sep. 21, 1993
Summary：

【要約】【目的】本発明の目的は、微細欠陥を信頼性高く検出する外観検査を実現するため、高感度な画像の比較を行う画像処理方法を提供することにある。【構成】複数の共焦点画像より微分値によって合成した1枚の画像と、基準となる画像において、それぞれに微分処理を施し、定めた値を加算した後、これらの極性を画像間で比較する。そして、極性の不一致としてパターンエッジの位置ずれを検出する。【効果】パターンエッジの位置ずれを2つの画像から、直接に検出できる。従って、従来にくらべ飛躍的に欠陥検出性能を向上させることができる。

Claim (excerpt)：

検出される画像信号と基準の画像信号とのそれぞれに、1次、或いは2次、或いはより高次の微分を施して微分画像信号を得、これら微分画像信号の積を算出し、少なくとも該算出された積の微分画像の信号の極性に応じて前記検出される画像信号と基準の画像信号とのずれを検出することを特徴とする画像処理方法。

IPC (3)：

G06F 15/70 460 ,  G06F 15/62 405 ,  G06F 15/70 330