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J-GLOBAL ID：200903063796392310

大気圧放電装置

Inventor： 鯉沼 秀臣 ,  猪俣 清人 ,  井上 亨 ,  宮永 昭治
Applicant, Patent owner： 株式会社半導体エネルギー研究所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993062746
Publication number (International publication number)：1994251894
Application date： Feb. 26, 1993
Publication date： Sep. 09, 1994
Summary：

【要約】【目的】 大気開放系の構成を有するプラズマ放電装置において、高エッチング速度を有する大気圧放電装置を提供する。【構成】 同心円電極を有する大気圧放電装置において、中心電極を中空電導性材料によって構成し、従来希ガスとともに放電装置内部に導入されていたエッチング反応ガスを、希ガスとは別に該中空電極を通じて希ガスによる放電空間に供給し、エッチング反応ガスを適度に活性化する。

Claim (excerpt)：

外側電極および中心電極の一対の電極を同心円状に配置し、前記外側電極と前記中心電極との間に円筒状絶縁体を前記一対の電極と同心円状でかつ前記外側電極に接するように設け、前記円筒状絶縁体および前記中心電極との間に希ガスを主体とする気体を大気圧送流状態に保持し、前記一対の電極間に交流電界を印加して前記気体を電離せしめる事により、前記円筒状絶縁体と前記中心電極の間に希ガス放電空間を生じさせる大気圧放電装置であって、前記中心電極を電導体材料による管状の中空電極とし、前記放電空間に前記中空電極を通して反応性ガスを主成分とする気体を前記放電空間に供給することを特徴とする大気圧放電装置。

IPC (3)：

H05H 1/46 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/302

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

• 特開平4-242924
  
• 特開平4-212253
  
• 特開平1-189899
  
• 特開平1-100092