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J-GLOBAL ID：200903063805112333
多次元加速度センサ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高橋 明夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992149284
Publication number (International publication number)：1993340960
Application date： Jun. 09, 1992
Publication date： Dec. 24, 1993
Summary：
【要約】【目的】 多次元加速度センサの小型軽量化,高精度化を図る。【構成】 直六面体の可動電極100の各面に対向して固定電極101〜112が配置される。これらの固定電極から可動電極100にサーボの静電気力が与えられ、可動電極100が固定電極101〜112で囲まれる空間部中央に浮いた状態となる。可動電極100が多次元の加速度に応答して変位すると前記可動電極・各固定電極の静電容量の変化をとらえて、静電サーボ制御系が可動電極を基準位置(ここで基準位置とは前記固定電極間の空間部中央である)に戻すための静電サーボ制御信号を前記各固定電極に印加する。この静電サーボ制御信号或いは各固定電極・可動電極間の静電容量の変化を示す信号を処理して多次元の加速度を検出する。
Claim (excerpt)：
静電容量式の加速度センサにおいて、直六面体の可動電極の各面に対向して固定電極が配置され、これらの固定電極から前記可動電極に該可動電極を前記固定電極で囲まれる空間部中央に浮いた状態で位置させる静電気力が与えられ、且つ前記可動電極が多次元の加速度に応答して変位すると前記可動電極・各固定電極の静電容量の変化をとらえて前記可動電極を基準位置(ここで基準位置とは前記固定電極間の空間部中央である)に戻すための静電気力を発生させる静電サーボ制御信号を形成して、この静電サーボ制御信号を前記各固定電極に印加する静電サーボ制御系とを備え、この静電サーボ制御信号或いは各固定電極・可動電極間の静電容量の変化を示す信号を処理して多次元の加速度を検出するよう設定して成ることを特徴とする多次元加速度センサ
IPC (2)：
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