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J-GLOBAL ID：200903063809085730

レーザプラズマ光源

Inventor： 永井 宏明 ,  持丸 象一郎 ,  堀川 嘉明
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 杉村 暁秀 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994303804
Publication number (International publication number)：1996162286
Application date： Dec. 07, 1994
Publication date： Jun. 21, 1996
Summary：

【要約】【目的】 有害な液体金属を用いることなく、しかもプラズマに寄与しない物質を極力少なくして、プラズマ物質の付着を有効に防止できるレーザプラズマ光源を提供する。【構成】 レーザ光108をターゲット104上に集光して生成したプラズマからX線を発生させるようにしたレーザプラズマ光源において、ターゲット104を、0.1Paよりも低い蒸気圧を有する液体化合物をもって構成する。

Claim (excerpt)：

レーザ光をターゲット上に集光して生成したプラズマからX線を発生させるようにしたレーザプラズマ光源において、前記ターゲットを、0.1Paよりも低い蒸気圧を有する液体化合物をもって構成したことを特徴とするレーザプラズマ光源。