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J-GLOBAL ID：200903063822040052

液晶表示装置の製造方法

Inventor： 田中 千浩 ,  高野 靖 ,  宇敷 武義
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997100659
Publication number (International publication number)：1998293326
Application date： Apr. 17, 1997
Publication date： Nov. 04, 1998
Summary：

【要約】【課題】 液晶表示装置の製造方法において、基板上に形成されるパターン構造にパターニング不良が発生しても、表示不良をきたすことのない新規の液晶表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】 ガラス基板10の表面上に酸化Taからなる下地層11が形成され、この下地層11の上に、配線層12及びこれに接続されたMIM素子が形成され、このMIM素子はさらに透明電極16に接続されている。これらのパターン構造の非形成領域A,B,Cに対してエッチング処理を行うことによってパターン間の膜残りを防止する残部除去工程をパターン構造の製造工程中に設ける。この工程は、好ましくは接続層13をパターニングする工程と同時に行われる。

Claim (excerpt)：

配線層及び画素電極を含むパターン構造を内面上に備えた2枚の基板によって液晶層を挟持した構造を有する液晶表示装置の製造方法において、前記パターン構造の非形成領域において前記パターン構造の形状不良に起因して発生する可能性のあるパターン残部を除去するための残部除去工程を設けたことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。

IPC (4)：

G02F 1/136 510 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 49/02

FI (4)：

G02F 1/136 510 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 49/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• スイッチング素子及び液晶表示装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-009270   Applicant：セイコーエプソン株式会社