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J-GLOBAL ID：200903063837621590
i線露光用感光性組成物
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993181529
Publication number (International publication number)：1994342211
Application date： Jul. 22, 1993
Publication date： Dec. 13, 1994
Summary：
【要約】【構成】 (A)一般式(I)で表わされる繰り返し単位を有し、アミド結合濃度1.5mol/kg以上である芳香族ポリイミド前駆体、【化1】(B)光重合開始剤、及び(C)溶剤を含む感光性組成物において、X及び/又はYが特定の基であることを特徴とする感光性組成物。【効果】 本発明の感光性組成物は今後半導体製造プロセスにおいて主流になる短波長の光源を用いて画像形成し、ポリイミドのパターンを得るのに適している。
Claim (excerpt)：
(A)一般式(I)で表わされる繰り返し単位を有し、アミド結合濃度1.5mol/kg以上である芳香族ポリイミド前駆体、【化1】〔式中Xは四価のフッ素原子を含まない芳香族基又は2〜4個のフッ素原子を含まない芳香族基が単結合、エーテル結合、チオエーテル結合、カルボニル結合、メチレン結合、スルホキシド結合及びスルホン結合の中から選ばれた少なくとも1種の結合を介して結合した化学構造をもつ四価の有機基であって、-COR基及び-COR′基と-CONH-基とは互にオルト位置にあり、RとR′は各々独立に-OR1 、-NHR2 、-O- N+ R3 R4 R5 R6 又は-OH(ただしR1 、R2 及びR3 それぞれ独立にかつ一種類とは限らず、エチレン性不飽和結合を少なくとも一部に有する有機基、R4 、R5 及びR6 は各々水素又は炭素数1〜6の炭化水素基)であり、少なくとも一部の繰り返し単位中のR又R′は-OH以外の残基であり、Yはフッ素原子を含まない二価の芳香族基又は2〜6個の芳香族基が単結合、エーテル結合、チオエーテル結合、カルボニル結合、メチレン結合、2,2-プロピレン結合、スルホキシド結合及びスルホン結合の中から選ばれた少なくとも1種の結合を介して相互に連結した化学構造をもつ、フッ素原子を含まない二価の有機基である〕(B)光重合開始剤、及び(C)溶剤を含む感光性組成物において、上記の芳香族ポリイミド前駆体ポリマーにおける(i)アミド結合濃度が2.42mol/kg以下であること、及び/又は(ii)Xが、結合基の存在する芳香族基において非プロトン性の電子供与基によって置換された芳香族基の化学構造を有する四価の基であること、及び/又は(iii-1)Yが一般式(II)【化2】(式中R7 は炭素数1〜4の脂肪族炭化水素基、nは0〜3の整数)で示される二価の基であること、又は、(iii-2)一般式(III)【化3】(式中Aは-CH2 -、-CO-、-SO2 -、-O-、-S-、m-ジオキシフェニレン基、p-ジオキシフェニレン基または一般式(III-1)で示される基、mは0または1)【化4】(式中Bは-CH2 -、-CO-、-SO2 -、-O-、-S-、m-ジオキシフェニレン基、p-ジオキシフェニレン基、kは0または1)で示される二価の基であること、又は(iii-3)一般式(IV)【化5】で示される二価の基であること、又は(iii-4)結合基の存在する芳香族基またはこれとエーテル結合を介して隣接する芳香族基において非プロトン性の電子吸引基によって置換された芳香族基の化学構造を有する二価の基であること、を特徴とし、かつ上記の感光性組成物を塗布乾燥後に形成される感光性組成物のフィルムの波長365nmにおける吸光度が、膜厚10μm当り1.5以下であることを特徴とする感光性組成物。
IPC (9)：
G03F 7/038 504
, G03F 7/038 505
, C08L 79/08 LRB
, G03F 7/004 503
, G03F 7/027 514
, G03F 7/031
, H01L 21/027
, H01L 21/312
, C08G 73/10 NTF
Cited by examiner (6)
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