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J-GLOBAL ID：200903063839727264

振動角速度計

Inventor： 藤生 尚光 ,  野村 達士
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993330737
Publication number (International publication number)：1995190783
Application date： Dec. 27, 1993
Publication date： Jul. 28, 1995
Summary：

【要約】【目的】 小型で安価に量産できる振動角速度計を提供することを目的とする。【構成】 振動子を基体に支持された2本の片持ち梁形状または両持ち梁形状とし、これらが同一平面内に互いに直交するような構造とすることにより、一つの素子で互いに直交する二方向の回転角速度を同時に検出することが可能となる。

Claim (excerpt)：

振動子と、これを支持する基体と、振動子を振動させる駆動手段と、振動子の回転により発生するコリオリの力を検出する検出手段とからなる振動角速度計において、前記振動子は前記基体に支持された2本の片持ち梁形状または両持ち梁形状を有し、これらが同一平面内に互いにほぼ直交するように配置されていることを特徴とする振動角速度計。

IPC (4)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84 ,  H01L 41/08