Pat

J-GLOBAL ID：200903063872965146

ポジ型感光性樹脂組成物

Inventor： 平野 孝 ,  番場 敏夫
Applicant, Patent owner： 住友ベークライト株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998206158
Publication number (International publication number)：1999102069
Application date： Jul. 22, 1998
Publication date： Apr. 13, 1999
Summary：

【要約】【課題】 高感度で高残膜率のパターンを得ることができ、封止樹脂及び基板との密着性に優れるポジ型感光性樹脂、及び封止樹脂との密着性に優れるポジ型感光性樹脂を提供する。【解決手段】 一般式(1)で示されるポリアミド(A)100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部、フェノール化合物(C)1〜50重量部、有機ケイ素化合物(D)1〜20重量部及び溶剤からなるポジ型感光性樹脂組成物。【化1】

Claim (excerpt)：

一般式(1)で示されるポリアミド(A)100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部、一般式(2)及び/又は(3)で表わされるフェノール化合物(C)1〜50重量部、一般式(4)及び/又は(5)で表される有機ケイ素化合物(D)1〜20重量部及び溶剤からなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【化2】【化3】【化4】【化5】

IPC (10)：

G03F 7/022 601 ,  C08G 69/32 ,  C08K 5/13 ,  C08K 5/23 ,  C08K 5/54 ,  C08L 77/06 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/039 601 ,  G03F 7/075 501 ,  H01L 21/027

FI (10)：

G03F 7/022 601 ,  C08G 69/32 ,  C08K 5/13 ,  C08K 5/23 ,  C08K 5/54 ,  C08L 77/06 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/039 601 ,  G03F 7/075 501 ,  H01L 21/30 502 R