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J-GLOBAL ID：200903063925973049

光ファイバとマイクロレンズの整合形成方法

Inventor： ナゲシュ ラマモーシィ バサバンハリィ
Applicant, Patent owner： エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
Agent (1)： 三俣 弘文
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994228960
Publication number (International publication number)：1995151935
Application date： Aug. 31, 1994
Publication date： Jun. 16, 1995
Summary：

【要約】【目的】 光ファイバの光源と、光ファイバによる光検知器とを、最大の光学結合ができるように、自動的に整合させる方法を提供すること。【構成】 本発明の実施例においては、基板は、第1表面と、それと反対側に形成された第2表面とを有する。光リソグラフ・マスキングとエッチングを用いて、基板の第1表面に、中心軸を有するレンズ25を形成する。この光リソグラフ・マスキングとエッチングを同じく用いて、基板の第2表面に、光ファイバガイド24を形成する。その後、この光ファイバガイドを用いて、光ファイバを基板の第2表面上に搭載して、光ファイバの中心軸とレンズの中心軸が一致するようにして、所望の整合を達成する。

Claim (excerpt)：

(A)第1表面と第2表面とを有する透明な材料性の基板(10)を形成するステップ(図1)と、(B)前記基板の第1表面上に、光リソグラフ・マスキングと、エッチングにより、少なくとも一つのレンズ(25)を形成するステップ(図4)と、(C)前記基板の第2表面上に光リソグラフ・マスキングと、エッチングにより、光ファイバガイド(24)を形成するステップ(図4)と、(D)前記光ファイバの中心軸と、前記レンズとの中心軸を一致させながら、前記基板の第2表面上に、前記光ファイバガイドを用いて、光ファイバ(27)を搭載するステップ(図6)と、からなることを特徴とする光ファイバとマイクロレンズの整合形成方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開昭64-024420