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J-GLOBAL ID：200903063926597776
真空排気管路における油蒸気逆流防止装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
飯阪 泰雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993354239
Publication number (International publication number)：1995197884
Application date： Dec. 28, 1993
Publication date： Aug. 01, 1995
Summary：
【要約】[目的] 真空排気装置からの油蒸気の逆流を防止するために、真空排気管路における圧力を常に所定値に維持させ、パージガスの流量を極力小とする真空排気管路における油蒸気逆流防止装置を提供すること。[構成] 真空排気装置1と真空容器3とを接続する管路2内に、真空排気装置1側から順にベントバルブ4、自動遮断バルブ5、主バルブ6を接続し、主バルブ6と自動遮断バルブ5との間の管路部2aにガス源9からパージガスを導入させるパージガス供給管路8を接続し、これにパージガス流量制御バルブ10及びパージガス導入バルブ11を設ける。管路部2aには圧力計7が接続されており、この検出出力は制御器20に供給され、この検出出力に基いてパージガス流量制御バルブ及び/又はパージガス導入バルブ11の開度、及び/又は開閉を制御する。よって管路部2a内の圧力は所定値に維持することができる。
Claim (excerpt)：
気体の圧縮行程に油を使用する真空ポンプ、又は排気する気体がその油潤滑室と連通している真空ポンプを用いた真空排気装置と、真空容器とを少なくとも主バルブを介して真空排気管路により接続し、該真空排気管路内で前記真空排気装置からの油蒸気が、該真空排気管路内に導入されるパージガスにより前記真空容器へと逆流することを防止するようにした真空排気管路における油蒸気逆流防止装置において、前記真空排気管路とパージガス供給源とを結ぶパージガス供給管路にパージガス導入バルブ及び/又はパージガス流量制御バルブを設け、かつ前記真空排気管路に圧力計又は流速計を設け、該圧力計、又は流速計の検出出力を制御器に供給し、該制御器から前記検出出力に基いて前記パージガス導入バルブを開閉する駆動信号及び/又は前記パージガス流量制御バルブの流量を制御する制御信号を前記パージガス導入バルブ及び/又は前記パージガス流量制御バルブに供給するようにして前記真空排気管路における圧力、又はガス流速を所定値になるように制御することを特徴とする真空排気管路における油蒸気逆流防止装置。
IPC (2)：
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