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J-GLOBAL ID：200903063947347699
ワーク搬送装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山川 政樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995139197
Publication number (International publication number)：1996335591
Application date： Jun. 06, 1995
Publication date： Dec. 17, 1996
Summary：
【要約】【目的】 大きさ、形状等が異なる種々のキャリアを搬送することができ、またキャリアのための専用のマガジンを不要にする。【構成】 キャリア11が載置される搬送プレート31と、搬送プレート31を一対の搬送レール12に沿って搬送する搬送手段としての移動体13によって搬送装置を構成する。搬送プレート31上に載置されるキャリア11は、位置決めピン34によって位置決めされる。搬送プレート31は、同一高さの支持座35と台座36を有する。支持座35の上側には突子37が突設され、下側には突子37が係入する係入孔が形成されており、これらにより搬送プレート31の段積みを可能にする。台座36には移動体13の係合部14が係合する搬送用係合孔15が形成されている。
Claim (excerpt)：
半導体素子等の容器本体を複数個の凹部にそれぞれ収容したキャリアを加工処理部に搬送する搬送プレートと、この搬送プレートを搬送レールに沿って移動させる搬送手段とを備え、前記搬送プレートに前記キャリアを位置決めする位置決めピンと、前記搬送手段が係合する搬送用係合部を設けたことを特徴とするワーク搬送装置。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 21/50 C
, B23K 37/04 G
