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J-GLOBAL ID：200903063950096354

磁気記録媒体の製造方法

Inventor： 成瀬 宏治 ,  舘野 安夫 ,  阿部 真弓
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 松隈 秀盛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992012282
Publication number (International publication number)：1993205263
Application date： Jan. 27, 1992
Publication date： Aug. 13, 1993
Summary：

【要約】【目的】 垂直磁気記録に用いて好適なCoO系等の磁気記録媒体の製造方法において、連続蒸着の際に非磁性支持体が受ける熱的ダメージを抑制して、磁気記録媒体の電磁変換特性の劣化を回避すると共に、蒸着レートを改善して生産性の向上をはかる。【構成】 非磁性支持体2上に、金属磁性薄膜を連続蒸着により被着形成するに際し、酸化性ガスを矢印aで示すように導入して、この酸化性ガスを供給する酸化性ガス導入管9を-20°C以下に冷却し、非磁性支持体2を支持する冷却キャン5を-20°C以下に冷却する。

Claim (excerpt)：

非磁性支持体上に、金属磁性薄膜を連続蒸着により被着形成するに際し、酸化性ガスが導入され、該酸化性ガスを供給する酸化性ガス導入管が-20°C以下に冷却され、上記非磁性支持体を支持する冷却キャンが-20°C以下に冷却されることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

IPC (4)：

G11B 5/85 ,  C23C 14/24 ,  C23C 14/56 ,  H01F 41/20