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J-GLOBAL ID：200903063984226486

液処理装置の基板搬送装置

Inventor： 南 泰雄
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 原 謙三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995126743
Publication number (International publication number)：1996321536
Application date： May. 25, 1995
Publication date： Dec. 03, 1996
Summary：

【要約】【構成】 基板2の両端部を回転可能に設けられた複数の搬送ローラ1にて支持し、搬送ローラ1の回転により上記基板2を搬送方向に搬送する基板搬送装置3であって、搬送ローラ1における基板2の端部と接触するローラ部1bは、外側を太く、内側を細くしたテーパ状に形成されている。【効果】 従来の搬送ローラのように、搬送する基板2の幅サイズに応じて搬送ローラの位置を変えるといった作業を必要とすることなく、異なる幅サイズの基板2に対応でき、その結果、生産に要する時間を大幅に削減し、生産性の向上が図れる。

Claim (excerpt)：

液体を用いて基板を処理する液処理装置に備えられ、基板の両端部を回転可能に設けられた複数の搬送ローラにて支持し、搬送ローラの回転により上記基板を搬送方向に搬送する基板搬送装置において、上記搬送ローラにおける基板の端部と接触するローラ部が、外側を太くしたテーパ状に形成されていることを特徴とする液処理装置の基板搬送装置。

IPC (4)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/304 341

FI (4)：

H01L 21/68 A ,  B65G 49/07 B ,  H01L 21/304 341 C ,  H01L 21/30 569 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭62-136428
  
• 特開昭62-012562
  
• 特開平4-196519