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J-GLOBAL ID：200903063986461091
コイルとその製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
渡辺 正康
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996236582
Publication number (International publication number)：1998083915
Application date： Sep. 06, 1996
Publication date： Mar. 31, 1998
Summary：
【要約】【課題】 小型化が図れ、且つ高電流密度が得られるコイルとその製造方法を提供するにある。【解決手段】 平面基板上にフォトリソグラフィーにより形成されるコイルにおいて、一面が少なくとも絶縁された平面基板と、該平面基板の一面に成膜されたアルミニウム薄膜の所定部分により構成されたコイルの導体部分と、該導体部分を囲む前記アルミニウム薄膜の部分が酸化されて酸化アルミニウムとなり前記コイルの導体部分間を絶縁する絶縁体部分とを具備したことを特徴とするコイルである。
Claim (excerpt)：
平面基板上にフォトリソグラフィーにより形成されるコイルにおいて、一面が少なくとも絶縁された平面基板と、該平面基板の前記一面に成膜されたアルミニウム薄膜の所定部分により構成されたコイルの導体部分と、該導体部分以外の前記アルミニウム薄膜の部分が酸化されて酸化アルミニウムとされ前記コイルの導体部分間を絶縁する絶縁体部分とを具備したことを特徴とするコイル。
IPC (2)：
FI (2)：
H01F 5/00 M
, H01F 41/04 C
