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J-GLOBAL ID：200903063991351059

加速度センサ

Inventor： 粟井 崇善
Applicant, Patent owner： 松下電工株式会社
Agent (1)： 西川 惠清 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999117178
Publication number (International publication number)：2000304762
Application date： Apr. 23, 1999
Publication date： Nov. 02, 2000
Summary：

【要約】【課題】 フレームおよびストッパの線膨張係数の違いで発生してフレームに加わり温度特性劣化の原因となる熱応力を低減する。【解決手段】 中央部123直下の重り部が複数のビーム112を介して接続されるフレーム11と、この上面に接合される上ストッパ12と、フレーム11の下面に接合される下ストッパとにより構成され、重り部、ビーム112およびフレーム11がシリコンにより形成される一方、上ストッパ12および下ストッパがガラスにより形成される加速度センサに対して、上ストッパ12を、この四隅から下方に伸びる支持部121の先端でフレーム11の上面に接合した。

Claim (excerpt)：

重り部がビームを介して接続されるフレームと、前記フレームの一の面上に接合される第1のストッパと、前記フレームの他の面上に接合される第2のストッパとを備え、前記第1および第2のストッパの一方は四隅から伸びる支持部の先端で前記フレームの面上に接合する加速度センサ。