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J-GLOBAL ID：200903063992965646

光学部品の洗浄方法および洗浄評価方法

Inventor： 入江 則行 ,  新倉 宏
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 大垣 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999226437
Publication number (International publication number)：2000197863
Application date： Aug. 10, 1999
Publication date： Jul. 18, 2000
Summary：

【要約】【課題】 オイルにより汚染された光学部品の容易でかつ安価な洗浄方法。【解決手段】 機械オイルおよびフッ素系オイルの双方または一方により汚染された光学部品に対して、無着色でかつ無香料の中性洗剤を用いて洗浄を行う。

Claim (excerpt)：

機械オイルおよびフッ素系オイルの双方またはいずれか一方により汚染された光学部品に対して、無着色でかつ無香料の中性洗剤を用いて洗浄を行うことを特徴とする光学部品の洗浄方法。

IPC (3)：

B08B 11/00 ,  B08B 3/08 ,  B08B 11/04

FI (3)：

B08B 11/00 Z ,  B08B 3/08 Z ,  B08B 11/04