低抵抗電極を有する液晶表示素子及びその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：加藤朝道
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994165814
Publication number (International publication number)：1995120771
Application date： Jun. 27, 1994
Publication date： May. 12, 1995
Summary：

【要約】【目的】ライン抵抗を低減し両側間のライン電圧ドロップを低減して均一な表示品質が得られる低抵抗電極を有する液晶表示素子及びその製造方法の提供。【構成】ガラス基板上に所定間隔を配して形成されたITO透明電極と、ITO透明電極の両側部に形成された第1及び第2金属膜とから成る構造を有する。その製造方法は、ITO膜が形成された円板ガラス全面にフォトレジスト(P.R)コーティングをした後、クロムマスクを用いて露光、現像してP.Rが所定間隔を有して相互に分離されるようにパターニングする工程と、ITOエッチング溶液を用いてP.Rと同一パターンを有するようにITO膜をエッチングする工程と、パターンが形成された基板上に、第1次、第2次無電解鍍金を施しITO膜の両サイド側に第1及び第2金属膜を形成する工程と、P.Rを除去する工程とから成る。

Claim (excerpt)：

ガラス基板の上に所定間隔を置いて形成されたITO透明電極と、前記ITO透明電極の両側側部に形成された第1及び第2金属膜とから成る低抵抗電極を有する液晶表示素子。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

特開平4-149914
特開平2-027318
特開平3-192213

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