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J-GLOBAL ID：200903064028348448

電子分光方法とこれを用いた電子分光装置

Inventor： 富江 敏尚
Applicant, Patent owner： 工業技術院長
Agent (1)： 工業技術院電子技術総合研究所長
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992205954
Publication number (International publication number)：1994027058
Application date： Jul. 09, 1992
Publication date： Feb. 04, 1994
Summary：

【要約】【目的】超短パルスX線などのパルス励起で試料から放出された電子を、極めて高い検出効率で、しかも高分解能で分光することにより超短パルスX線などの励起を計測手段とする、表面状態の高速現像の研究などの新たな応用分野の開拓を目的とする。【構成】パルスX線乃至パルス超短波長紫外線を試料1に照射し、試料1の表面から放出される電子eを所定距離飛行させ、その飛行時間を測定する電子分光方法とこの方法を用いた電子分光装置。

Claim (excerpt)：

パルスX線乃至パルス超短波長紫外線を試料に照射し、該試料から放出される電子を所定距離飛行させ、その飛行時間を測定することを特徴とする電子分光方法。

IPC (3)：

G01N 23/225 ,  H01J 37/252 ,  H01J 49/40

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平3-083000
  
• 荷電粒子のエネルギー分布測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-194530   Applicant：浜松ホトニクス株式会社