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J-GLOBAL ID：200903064041338869

光学薄膜及び光学素子及び光学装置

Inventor： 谷 裕久
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999246338
Publication number (International publication number)：2001074931
Application date： Aug. 31, 1999
Publication date： Mar. 23, 2001
Summary：

【要約】【課題】 レーザ耐久性の高い紫外域レーザ用光学薄膜を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の光学薄膜は、光学基板1上に、密度が2.6g/cm3以上の1層以上の酸化アルミニウム層2と1層以上の酸化ケイ素層3とから構成され、波長が150nm以上200nm以下の紫外光で用いられる。

Claim (excerpt)：

光学基板上に密度が2.6g/cm3 以上の1層以上の酸化アルミニウム層と1層以上の酸化ケイ素層とを積層状に具えることを特徴とする光学薄膜。

IPC (8)：

G02B 5/26 ,  C03C 17/245 ,  C03C 17/34 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/10 ,  C23C 14/32 ,  C23C 14/48 ,  G02B 5/28

FI (9)：

G02B 5/26 ,  C03C 17/245 A ,  C03C 17/34 Z ,  C23C 14/08 N ,  C23C 14/08 A ,  C23C 14/10 ,  C23C 14/32 Z ,  C23C 14/48 D ,  G02B 5/28

F-Term (30)：

2H048FA05 ,  2H048FA07 ,  2H048FA18 ,  2H048FA24 ,  2H048GA09 ,  2H048GA34 ,  2H048GA60 ,  4G059AA11 ,  4G059AC04 ,  4G059EA01 ,  4G059EA05 ,  4G059EB02 ,  4G059EB03 ,  4G059EB04 ,  4G059GA01 ,  4G059GA04 ,  4G059GA12 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA44 ,  4K029BA46 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029BD01 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029CA09 ,  4K029DB21 ,  4K029DC05 ,  4K029EA01