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J-GLOBAL ID：200903064046472776

高周波微小振動測定装置

Inventor： 福間 剛士 ,  小林 圭 ,  山田 啓文 ,  松重 和美
Applicant, Patent owner： 関西ティー・エル・オー株式会社
Agent (2)： 小林 良平 ,  竹内 尚恒
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004091217
Publication number (International publication number)：2005274495
Application date： Mar. 26, 2004
Publication date： Oct. 06, 2005
Summary：

【課題】 高周波であって微小な振動を測定することができる振動測定装置を提供する。 【解決手段】 周波数ωで振動する被測定物10に、レーザダイオード14から、周波数ωmで強度変調した光を照射する。この被測定物10により反射された光を、2つの領域に分割された分割フォトダイオード16で検出する。この2つの領域で受光される反射光の強度の差には、周波数(ω-ωm)のうなりの成分が含まれる。このうなりの周波数を周波数検出回路17により算出することにより、周波数ωを求める。従来、検出器の性能上、ωが1MHzを超えると高い精度での測定は困難であったが、本発明ではωmを適切に設定することにより(ω-ωm)を1MHz以下にすることができるため、ωが1MHzを超えても高い精度で測定を行うことができる。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

物体の振動周波数を測定するための装置であって、 a)所定の変調周波数で強度変調した光を発生させて測定対象の物体に照射する光発生部と、 b)測定対象の物体により反射された光を受光して検出し、前記強度変調及び受光面積の変化により生じる、検出光の強度変化に係る周波数を算出する検出部と、 を備えることを特徴とする高周波微小振動測定装置。

IPC (3)：

G01H9/00 ,  G01N13/10 ,  G01N13/16

FI (3)：

G01H9/00 B ,  G01N13/10 F ,  G01N13/16 A

F-Term (8)：

2G064AA11 ,  2G064AB01 ,  2G064AB02 ,  2G064BC02 ,  2G064BC24 ,  2G064BC32 ,  2G064CC41 ,  2G064CC43

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 音圧変換装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-170059   Applicant：株式会社ケンウッド
• 走査型プローブ顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-256880   Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社
• 走査型プローブ顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-298940   Applicant：日立建機株式会社
• 走査型熱伝導分布計測装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-364917   Applicant：株式会社ニコン