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J-GLOBAL ID：200903064079039962

シリコン結晶の製造に使用するガラス質炭素被覆グラファイト部品およびその製造方法

Inventor： アーウィン、チャールズ、ルイス ,  テレンス、アンソニー、ピロ ,  ダグラス、ジェー、ミラー
Applicant, Patent owner： ユーカー、カーボン、テクノロジー、コーポレーション
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992230586
Publication number (International publication number)：1993294781
Application date： Aug. 28, 1992
Publication date： Nov. 09, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】溶融シリコンからシリコン単結晶成長物を製造する際に使用する汚染を防止することを目的としたるつぼを提供する。【構成】ガラス質炭素層12を有するグラファイトるつぼを、50%の、液体レゾールフェノール樹脂のフルフラール溶液中に浸漬する。約15分間浸漬した後取り出し、乾燥する。次いでアルゴン中で、150°Cで1時間硬化させた。更に2回目浸漬を行い、アルゴン中で250°Cで1時間加熱し、樹脂を熱硬化させた。この被覆したるつぼを窒素雰囲気中、毎時250°Cの速度で1600°Cに加熱して熱処理を行い、最後に塩素ガスを加え、精製および灰分除去を行った。

Claim (excerpt)：

シリコンおよびドーピング剤の溶融浴からシリコン単結晶成長物を製造する際に使用するためのグラファイト部品であって、前記グラファイト部品が、熱硬化性有機樹脂から形成されたガラス質炭素の外層を有することを特徴とする、グラファイト部品。

IPC (4)：

C30B 15/10 ,  C01B 31/02 101 ,  C30B 15/14 ,  C30B 29/06 502

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開平3-223196