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J-GLOBAL ID：200903064079420178

電子顕微鏡

Inventor： 境 悠治
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 阿部 龍吉 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997012256
Publication number (International publication number)：1998208678
Application date： Jan. 27, 1997
Publication date： Aug. 07, 1998
Summary：

【要約】【課題】 対物レンズの球面係数、色収差係数を改善する。【解決手段】 超高真空中に対物レンズ2を配置して試料1に電子線や光を照射し試料1からの放出電子による像を観察する電子顕微鏡において、対物レンズ2に磁界レンズを用いると共に、該磁界レンズ2は、ヨークの試料1側に開口aを有し銅線に放出ガスの少ない材料をコーティングした線材を用いる。また、放出ガスの少ない材料はアルミナであり、磁界レンズ1は、セミインレンズ構造のものとする。

Claim (excerpt)：

超高真空中に対物レンズを配置して試料に電子線や光を照射し試料からの放出電子による像を観察する電子顕微鏡において、前記対物レンズに磁界レンズを用いると共に、該磁界レンズは、ヨークの試料側に開口を有し銅線に放出ガスの少ない材料をコーティングした線材を用いることを特徴とする電子顕微鏡。

IPC (4)：

H01J 37/141 ,  G01N 23/225 ,  G01N 23/227 ,  H01J 37/26

FI (4)：

H01J 37/141 Z ,  G01N 23/225 ,  G01N 23/227 ,  H01J 37/26