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J-GLOBAL ID：200903064080017948
粒度分布測定器の検定基準用固定標本の製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
江原 望 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992304431
Publication number (International publication number)：1993332913
Application date： Sep. 12, 1989
Publication date： Dec. 17, 1993
Summary：
【要約】【目的】 粒子像をランダムに配列した固定標本の製造方法を供する。【構成】 正方画面上に粒子像を所定個数ランダムに配置した元図を作成し、同元図を縮小転写して所定単位面積の正方形のフォトレジスト用原画を作成し、同原画を複数上下左右の姿勢をランダムに変えながら縦横に敷きつめてフォトマスクを形成し、同フォトマスクを透明基板に焼きつけて粒子像を成膜して固定標本を製造することを特徴とする粒度分布測定器の検定基準用固定標本の製造方法。
Claim (excerpt)：
正方画面上に粒子像を所定個数ランダムに配置した元図を作成し、同元図を縮小転写して所定単位面積の正方形のフォトレジスト用原画を作成し、同原画を複数上下左右の姿勢をランダムに変えながら縦横に敷きつめてフォトマスクを形成し、同フォトマスクを透明基板に焼きつけて粒子像を成膜して固定標本を製造することを特徴とする粒度分布測定器の検定基準用固定標本の製造方法。
IPC (2)：
G01N 15/00
, G01N 1/00 102
