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J-GLOBAL ID：200903064158343294

ダイヤモンドフイルム電子源を用いた電子素子

Inventor： ロバート・シー・カーン
Applicant, Patent owner： モトローラ・インコーポレイテッド
Agent (1)： 本城 雅則 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993122194
Publication number (International publication number)：1994036680
Application date： Apr. 27, 1993
Publication date： Feb. 10, 1994
Summary：

【要約】【目的】 0.05ミクロン代の小さな構造サイズを必要とせず、5x105V/cm程導電界のみを用いて、大量の電子を放出させることができる、電子放出電子素子を提供する。【構成】 ダイヤモンド材料電子放出部(101)とアノード(102)とが双方とも支持基板(103)上に配置されており、それらの間に相互電極領域(130)を規定するようにした、電子素子。相互電極領域(130)を横切る電子の搬送は、ダイヤモンド材料電子放出部(101)の放出面(120)において、開始される。代替実施例では、実質的に対称的で、電子放出部(301)について軸方向にずれており、かつ相互電極領域(330)内にあるゲート電極(340)を用いて、変調能力を設けている。

Claim (excerpt)：

主面を有する支持基板(103);前記支持基板の主面の一部上に配置され、電子を放出するための放出面(120)を有する、ダイヤモンド材料電子放出部(101);および放出された電子の少なくとも幾つかを収集するために、前記ダイヤモンド材料電子放出部の放出面に対して隔てて前記主面の一部上に配置され、かつ相互電極領域(130)をその間に規定する、アノード(102);から成ることを特徴とする電子素子。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平3-040332
  
• 特開昭64-033833