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J-GLOBAL ID：200903064177339290

陽極酸化方法

Inventor： 間島 庭司 ,  小沢 清
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992267737
Publication number (International publication number)：1994118443
Application date： Oct. 07, 1992
Publication date： Apr. 28, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 液晶表示パネルを構成するバスライン間の耐圧を向上させるために、ゲートパターン上への酸化皮膜の形成をレジストを使用せずに行なう。【構成】 ガラス基板1のストライプ状アルミニウムパターンの端部を電源7の正極端子に回路接続する。ストライプ状アルミニウムパターンの陽極酸化膜形成位置を撥水性をもつ絶縁性スペーサ8で囲む。ガラス基板1の中央に電解液の注入口9を設ける。またメッシュ状またはストライプ状にパターン形成した陰極板11の陰極電極10をスぺーサ8に当接すると共に陰極電極10を電源7の負極端子に回路接続する。注入口9より電解液12を注入し、ガラス基板1の陽極酸化膜形成位置が電解液12に浸っていることを確認した後、電源7より通電して陽極酸化を行ない、陽極酸化膜の形成を終わったガラス基板1を取り出し洗浄する。

Claim (excerpt)：

ストライプ状アルミニウムパターンが膜形成してあるガラス基板(1)の該アルミニウムパターンの端部を電気的に接続して電源(7)の正極端子に回路接続する工程と、前記ストライプ状アルミニウムパターンの陽極酸化膜形成位置を撥水性をもち陽陰極間隔に等しい高さをもつ絶縁性のスペーサ(8)で囲む工程と、大きさが該スペーサ(8)と等しいガラス基板(1)の中央に電解液の注入口(9)を、また下側に陰極電極(10) をメッシュ状またはストライプ状にパターン形成してある陰極板(11)の陰極電極(10)を下側として前記スぺーサ(8)に当接すると共に該陰極電極(10)を前記電源(7)の負極端子に回路接続する工程と、前記注入口(9)より電解液(12)を注入し、ストライプ状アルミニウムパターンが膜形成してあるガラス基板(1)の陽極酸化膜形成位置が電解液(12)に浸っていることを確認した後、前記電源(7)より通電して陽極酸化を行なう工程と、陽極酸化膜の形成の終わったガラス基板(1)を取り出し洗浄する工程と、からなることを特徴とする陽極酸化方法。

IPC (3)：

G02F 1/136 500 ,  H01L 21/316 ,  H01L 29/784