Pat

J-GLOBAL ID：200903064182726994

近接場光によるラマン分光方法

Inventor： 布施 貴史 ,  高橋 文之 ,  塚原 博之
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 伊東 忠彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002192089
Publication number (International publication number)：2004037158
Application date： Jul. 01, 2002
Publication date： Feb. 05, 2004
Summary：

【課題】試料表面の成分解析を近接場光によるラマン散乱光を利用して回折限界以下の水平分解能で行うラマン分光方法において、散乱光を受光する際の迷光を極力低減しながら、微弱光であるラマン散乱光を効率よく集光することにより、より精密な成分解析を可能とする。【解決手段】近接場光プローブ8の周囲に集光レンズ16、絞り20、21を配置して、試料表面の近接場光照射位置10からの散乱光が集光レンズ16により集光される位置に絞り20、21を設置する手順と、近接場光照射位置10からの散乱光を複数の方向からそれぞれ集光レンズ16に集光する手順と、絞り20、21により、迷光を低減しながら、集光レンズ16の集光位置を通過する散乱光のみを受光して分光器23に導く手順とからなる。【選択図】 図5

Claim (excerpt)：

試料表面の成分解析を近接場光を利用して回折限界以下の水平分解能で行う近接場光顕微鏡を用いたラマン分光方法において、 前記近接場光顕微鏡を、近接場光プローブの周囲に集光レンズ、絞りを配置して、試料表面の近接場光照射位置からの散乱光が前記集光レンズにより集光される位置に前記絞りを設置する手順と、 前記近接場光照射位置からの散乱光を複数の方向からそれぞれ前記集光レンズに集光する手順と、 前記絞りにより、迷光を低減しながら、前記集光レンズの集光位置を通過する散乱光のみを受光して分光器に導く手順と、 からなることを特徴とするラマン分光方法。

IPC (3)：

G01N21/65 ,  G01J3/44 ,  G01N13/14

FI (3)：

G01N21/65 ,  G01J3/44 ,  G01N13/14 B

F-Term (24)：

2G020AA04 ,  2G020BA17 ,  2G020CA04 ,  2G020CB23 ,  2G020CC01 ,  2G020CC26 ,  2G020CD14 ,  2G020CD22 ,  2G020CD37 ,  2G020CD61 ,  2G043AA01 ,  2G043CA05 ,  2G043DA06 ,  2G043EA03 ,  2G043HA01 ,  2G043HA03 ,  2G043HA05 ,  2G043HA07 ,  2G043JA01 ,  2G043JA02 ,  2G043KA02 ,  2G043KA09 ,  2G043MA01 ,  2G043NA06