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J-GLOBAL ID：200903064192990959

真空装置の覗き窓の製法

Inventor： 岡部 信一
Applicant, Patent owner： 住友金属鉱山株式会社
Agent (1)： 鴨田 朝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994184143
Publication number (International publication number)：1996027566
Application date： Jul. 14, 1994
Publication date： Jan. 30, 1996
Summary：

【要約】【目的】 真空装置の覗き窓の透明度を維持し、覗き窓の表面を機械的特性及び耐食性に優れたものとする。【構成】 覗き窓として使用されるガラス基材を純水洗浄で前処理し、溶解によるアルミナを蒸発材料として用い、前記ガラス基材の表面に、350〜600°Cで、1×10-4Torr以下の雰囲気で第1層のアルミナ膜をイオンプ-ティング法で被覆し、酸素ガスを導入し、250〜350°Cで1×10-4Torr〜1×10-3Torrの雰囲気で第2層のアルミナ膜を第1層のアルミナ膜上にイオンプレ-ティング法で被覆し、全膜厚が10μm以下で、その30%〜70%を第1層のアルミナ膜とする。

Claim (excerpt)：

覗き窓として使用されるガラス基材を純水洗浄で前処理し、アルミナを蒸発材料として用い、前記ガラス基材の表面に、350〜600°Cの温度および1×10-4Torr以下の圧力の雰囲気で第1層のアルミナ膜をイオンプレーティング法で被覆し、酸素ガスを導入し、250〜350°Cの温度および1×10-4Torr〜1×10-3Torrの圧力の雰囲気で第2層のアルミナ膜を第1層のアルミナ膜上にイオンプレーティング法で被覆することにより、全膜厚が10μm以下で、その30%〜70%を第1層のアルミナ膜とすることを特徴とする真空装置の覗き窓の製法。

IPC (6)：

C23C 14/24 ,  B01J 3/00 ,  C03C 17/245 ,  C03C 17/34 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/32