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J-GLOBAL ID：200903064212720740

静電式アクチユエータ

Inventor： 中川 亘 ,  鶴岡 亨彦
Applicant, Patent owner： 富士電機株式会社
Agent (1)： 松崎 清
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991175822
Publication number (International publication number)：1993076186
Application date： Jun. 21, 1991
Publication date： Mar. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】 大きな駆動力を発生させ、変位量を大きくすることができる静電アクチュエータを提供する。【構成】 複数の櫛歯状固定電極11に対し、1対の電極が絶縁体を介して上下に形成された複数の櫛歯状可動電極21を互いに噛み合うように配置し、例えば上側の可動電極には案内部材3Aを介して正の電圧を、下側の可動電極と固定電極11には負の電圧をそれぞれ印加すると、可動電極21の上と下とで電界強度に差ができるので、これを利用して大きな静電駆動力が得られるようにし、変位量の増大を図る。

Claim (excerpt)：

櫛歯状の固定電極を持つ固定部材と、絶縁体により互いに絶縁され前記固定電極の櫛歯と噛み合う櫛歯状の第1,第2の可動電極を持つ可動部材と、この可動部材を一方向にのみ案内する案内部材とを備え、この案内部材を介して前記可動電極のいずれか一方および固定電極と残りの可動電極との間に電圧を印加して前記可動部材を一方向に駆動可能にしてなることを特徴とする静電式アクチュエータ。