Pat

J-GLOBAL ID：200903064215344006

高温超電導ジョセフソン素子およびその製造方法

Inventor： 文 忠民
Applicant, Patent owner： 沖電気工業株式会社
Agent (1)： 船橋 國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995157567
Publication number (International publication number)：1997008368
Application date： Jun. 23, 1995
Publication date： Jan. 10, 1997
Summary：

【要約】【目的】 素子作製の歩留りを向上を可能とした高温超電導ジョセフソン素子を提供する。【構成】 バイクリスタル基板11の上に高温超電導薄膜を成膜し、この高温超電導薄膜を微細加工することによって超電導ブリッジ12および2つの超電導電極13a,13bを形成してなる高温超電導ジョセフソン素子において、バイクリスタル基板11のバイクリスタル線(接合部)14上に位置する超電導ブリッジ12の上にAuなどの金属膜からなる弱結合体15を設けた構成とする。

Claim (excerpt)：

結晶方位が異なる2枚の単結晶基板を接合することによって作製されたバイクリスタル基板と、前記バイクリスタル基板の上に成膜された高温超電導薄膜からなる2つの超電導電極と、前記バイクリスタル基板の上に成膜された高温超電導薄膜からなり、かつ前記2つの超電導電極を連結する超電導ブリッジと、前記バイクリスタル基板の接合部上に位置する前記超電導ブリッジの上に形成された弱結合体とを備えたことを特徴とする高温超電導ジョセフソン素子。

IPC (4)：

H01L 39/22 ZAA ,  C30B 29/22 501 ,  C30B 33/08 ,  H01L 39/24 ZAA

FI (4)：

H01L 39/22 ZAA A ,  C30B 29/22 501 P ,  C30B 33/08 ,  H01L 39/24 ZAA J