走査電子顕微鏡

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：井島藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998356224
Publication number (International publication number)：2000182558
Application date： Dec. 15, 1998
Publication date： Jun. 30, 2000
Summary：

【要約】【課題】簡単な構成で2次電子の検出効率を高めることができる走査電子顕微鏡を実現する。【解決手段】複合対物レンズ1の上部に2次電子検出器11を配置し、磁界型対物レンズ2の下部磁極5の内径を上部磁極4の内径より大きくすると共に、接地電位の上部電極7と負電位の下部電極8とより構成される静電型対物レンズ3の上部電極7の内径を下部電極8の内径より大きくする。

Claim (excerpt)：

電子銃からの電子ビームを対物レンズによって試料上に細く集束すると共に、試料上で電子ビームを2次元的に走査し、この走査に基づいて試料から得られた信号に基づいて試料像を陰極線管上に表示するようにした走査電子顕微鏡において、対物レンズを磁界型対物レンズと磁界型対物レンズの形成する磁場内に配置された静電型対物レンズとにより構成された複合レンズとし、複合対物レンズの上部に2次電子検出器を配置し、磁界型対物レンズの下部磁極内径を上部磁極内径より大きくすると共に、静電型対物レンズを接地電位の上部電極と負電位の下部電極とより構成し、この上部電極の内径を下部電極の内径より大きくしたことを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (3)：

H01J 37/244 , H01J 37/141 , H01J 37/145

FI (3)：

H01J 37/244 , H01J 37/141 A , H01J 37/145

F-Term (6)：

5C033DD04 , 5C033DD09 , 5C033DD10 , 5C033NN01 , 5C033NP01 , 5C033NP05

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

走査電子顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-101652 Applicant：株式会社日立製作所
走査形電子顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-159444 Applicant：株式会社日立製作所
電子線装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-005731 Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社

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