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J-GLOBAL ID:200903064231036133
平面表示装置用の隔壁形成方法及びその装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000364406
Publication number (International publication number):2002170484
Application date: Nov. 30, 2000
Publication date: Jun. 14, 2002
Summary:
【要約】【課題】 工程を単純化することができ品質や加工精度を高めることができるとともに、材料の利用効率を高めることができ低コストで隔壁を形成することができて、しかも高アスペクト比の隔壁を形成することができる平面表示装置用の隔壁形成方法およびその装置を提供する。【解決手段】 移動する基板S上に第1のノズル16からに吐出された直後の第1の隔壁材料M1に、第1の光照射部17によって紫外線を照射して硬化を促進するとともに、硬化が促進された直後の第1の隔壁材料M1上、すなわち形状が維持された第1の隔壁部W1上に第2のノズル18から第2の隔壁材料M2を吐出し、かつ、吐出直後の第2の隔壁材料M2に第2の光照射部によって紫外線を照射して硬化を促進する。
Claim (excerpt):
平面表示装置に用いられる基板に隔壁を形成する方法であって、前記基板上に第1の隔壁材料を線状に塗布して第1の隔壁部を形成する第1の塗布工程と、第1の隔壁部上に第2の隔壁材料を線状に塗布して第2の隔壁部を形成する第2の塗布工程と、を含むことを特徴とする平面表示装置用の隔壁形成方法。
IPC (7):
H01J 9/02
, B05C 5/00 101
, B05C 9/12
, B05D 1/26
, B05D 7/00
, B05D 7/24 301
, H01J 11/02
FI (7):
H01J 9/02 F
, B05C 5/00 101
, B05C 9/12
, B05D 1/26 Z
, B05D 7/00 H
, B05D 7/24 301 T
, H01J 11/02 B
F-Term (27):
4D075AC06
, 4D075AE03
, 4D075BB21Z
, 4D075BB41Z
, 4D075DA06
, 4D075DC22
, 4D075EA05
, 4D075EA21
, 4F041AA05
, 4F041AB01
, 4F041BA05
, 4F042AA06
, 4F042DB01
, 4F042DB41
, 4F042DB51
, 5C027AA09
, 5C040GF02
, 5C040GF13
, 5C040GF19
, 5C040JA13
, 5C040JA28
, 5C040JA31
, 5C040KA15
, 5C040KA16
, 5C040LA17
, 5C040MA24
, 5C040MA26
Patent cited by the Patent: