Pat
J-GLOBAL ID:200903064233903632
電気接点を製造するための方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
後藤 政喜 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002192919
Publication number (International publication number):2003124404
Application date: Jul. 02, 2002
Publication date: Apr. 25, 2003
Summary:
【要約】【課題】インターポーザとして用いることができる超小型電気接点を提供する。【解決手段】電気接点を製造するための方法において、a)基板(100)において複数のバイア(102)の孔内壁面をめっきするステップと、b)第1の金属シート(200)内に複数のドーム(202)を形成するステップと、c)前記第1の金属シート(200)上に第1のマスク層を配置するステップと、d)前記第1のマスク層によって保護されない全ての領域内の前記第1の金属シート(200)に対して第1のエッチングを実施するステップと、e)前記孔内壁面をめっきされた複数のバイア(102)に前記エッチングされた第1の金属シート(310)を半田付けするステップと、f)前記エッチングされた第1の金属シート(310)上に第2のマスク層を配置するステップと、g)前記第2のマスク層によって保護されない全ての領域内の前記エッチングされた第1の金属シート(310)に対して第2のエッチングを実施するステップと、を備える。
Claim (excerpt):
電気接点を製造するための方法において、a)基板(100)において複数のバイア(102)の孔内壁面をめっきするステップと、b)第1の金属シート(200)内に複数のドーム(202)を形成するステップと、c)前記第1の金属シート(200)上に第1のマスク層を配置するステップと、d)前記第1のマスク層によって保護されない全ての領域内の前記第1の金属シート(200)に対して第1のエッチングを実施し、それにより複数の電気接点(300)を形成するステップであって、前記電気接点(300)は、金属パッド上にワイピング作用を生成するように構成される螺旋状脚部を含む、前記形成するステップと、e)前記孔内壁面をめっきされた複数のバイア(102)に前記エッチングされた第1の金属シート(310)を半田付けするステップと、f)前記エッチングされた第1の金属シート(310)上に第2のマスク層を配置するステップと、g)結果として前記複数の電気接点(300)のうちの少なくともいくつかの接点が物理的、かつ電気的に分離されるように、前記第2のマスク層によって保護されない全ての領域内の前記エッチングされた第1の金属シート(310)に対して第2のエッチングを実施するステップと、を備えることを特徴とする方法。
IPC (7):
H01L 23/32
, H01R 12/32
, H01R 33/76 505
, H01R 43/00
, H05K 3/32
, H05K 3/34 501
, H05K 3/42 610
FI (7):
H01L 23/32 D
, H01R 33/76 505 B
, H01R 43/00 B
, H05K 3/32 Z
, H05K 3/34 501 E
, H05K 3/42 610 Z
, H01R 9/09 A
F-Term (26):
5E024CA19
, 5E024CB04
, 5E051BA08
, 5E051BB01
, 5E077BB11
, 5E077BB31
, 5E077DD14
, 5E077FF21
, 5E077JJ05
, 5E077JJ21
, 5E077JJ30
, 5E317AA24
, 5E317BB12
, 5E317CC31
, 5E317CD34
, 5E317GG07
, 5E317GG17
, 5E319AA03
, 5E319AA07
, 5E319AB06
, 5E319AC01
, 5E319AC15
, 5E319BB20
, 5E319CC01
, 5E319GG03
, 5E319GG15
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