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J-GLOBAL ID：200903064257414454
液体供給装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松本 武彦 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994177205
Publication number (International publication number)：1996045816
Application date： Jul. 28, 1994
Publication date： Feb. 16, 1996
Summary：
【要約】【目的】 配管内に気体が存在することを確実に検知し、エア抜き時に廃棄される液体の量を低減する。【構成】 ボトル10内の液体が送出される第1の配管41を三方継手44により第2の配管42と第3の配管43とに分岐させ、第2の配管42に第1のエアー弁46を介してノズル20を接続し、第3の配管43に第2のエアー弁50を介して廃液配管48を接続する。第1の配管41には、その第1の配管41内の気体を検出するセンサ52を設ける。センサ52が第1の配管41内の気泡を検出すると、第1のエアー弁46を閉じ、ボトル10の交換等の後、第2のエアー弁50を開いてエア抜きを行う。
Claim (excerpt)：
容器内の液体を第1の配管へ送り出す送出手段と、前記第1の配管を第2の配管と第3の配管とに分岐させる分岐手段と、前記第2の配管に接続され当該第2の配管から供給される液体を基板へ供給するノズルと、前記第3の配管に接続された廃液配管と、前記第2の配管及び前記第3の配管を開閉する開閉手段と、前記第1の配管内の気体を検出する検出手段とを備えたことを特徴とする液体供給装置。
IPC (4)：
H01L 21/027
, B05C 11/08
, B05C 11/10
, G03F 7/16 502
