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J-GLOBAL ID：200903064259002960

照明装置

Inventor： 浪川 敏之 ,  渋谷 眞人 ,  広瀬 秀男
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992236939
Publication number (International publication number)：1994084759
Application date： Sep. 04, 1992
Publication date： Mar. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】 簡単な構成で且つコヒーレンス度の均一性を悪化させることなく、被照明物体面での照度分布を均一にする。【構成】 被照明物体面20を重畳的に照明する複数の小レンズよりなるフライアイ・インテグレータ16と、フライアイ・インテグレータ16からの光束を被照明物体面20に導くコンデンサーレンズ19と、フライアイ・インテグレータ16の個々の小レンズに入射する照明光の透過率分布を所定分布にするパターンドフィルター板14とを有し、フライアイ・インテグレータ16の各小レンズによる被照明物体面20上での照度分布21A〜21Cをそれぞれ一様にした。

Claim (excerpt)：

ほぼ平行光束の照明光を供給する光源手段と、該光源手段からの照明光の光路中に配置されそれぞれ集光点を形成して被照明物体面を重畳的に照明する複数の小レンズよりなるフライアイ・インテグレータと、該フライアイ・インテグレータの入射面と前記被照明物体面とをほぼ共役にし該フライアイ・インテグレータからの光束を前記被照明物体面に導くコンデンサーレンズと、前記フライアイ・インテグレータの前記光源手段側に所定の間隔を隔てて配置され、前記フライアイ・インテグレータを構成する個々の小レンズに入射する照明光の透過率分布をそれぞれ所定の分布に設定する透過率分布調整部材とを有し、前記フライアイ・インテグレータを構成する各小レンズによる前記被照明物体面上での照度分布をそれぞれ一様にした事を特徴とする照明装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  H01S 3/101

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平3-011614
  
• 照明光学系
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-170394   Applicant：ミノルタカメラ株式会社
• 特開平4-034918
  
• 特開昭64-042821